微分干涉顯微鏡又稱鏡檢術(shù)
普西森精密儀器有限公司的8"×8"快速移動載物臺，是國內(nèi)首家自己設(shè)計生產(chǎn)的，完全滿足8"以下的所有LCD、IC晶圓等大尺寸的快速檢測。SQ200A微分干涉顯微鏡為南京普西森精密儀器有限公司自己設(shè)計和生產(chǎn)的產(chǎn)品，普西森微分干涉顯微鏡的長遠計劃——不再依賴進口產(chǎn)品，從而更好的控制了金相顯微鏡價格成本，以及解決國外產(chǎn)品交期長的問題。
微分干涉金相顯微鏡又稱鏡檢術(shù)，是利用特制的渥拉斯頓棱鏡來分解光束。分裂出來的光束的振動方向相互垂直且強度相等，光束分別在距離很近的兩點上通過被檢物體，在相位上略有差別。由于兩光束的裂距極小，金相顯微鏡而不出現(xiàn)重影現(xiàn)象，使圖象呈現(xiàn)出立體的三維感覺。
普西森SQ200微分干涉顯微鏡配置偏振系統(tǒng)及微分干涉系統(tǒng)，可實現(xiàn)COG中粒子及爆破檢測，可實現(xiàn)TAB檢測；具備起偏器和檢偏器，可做偏光檢測，在半導體和PCB檢測中，可消除雜光，細節(jié)更清楚；可加載微分干涉器，實現(xiàn)微分干涉觀察，在COG中，可清晰觀察3-5um的粒子；整個市場干涉色彩均勻；內(nèi)設(shè)偏振光和DIC，可建立諾曼爾斯基微分干涉襯比法系統(tǒng)，可對LCD導電粒子檢查。