金相顯微鏡要想獲得高質量的拋光效果，最重要的是要具備有高質量的油石、砂紙和鉆石研磨膏等拋光工具和輔助品。而拋光程序的選擇取決于前期加工后的表面狀況，如機械加工、電火花加工，磨加工等等。機械拋光的一般過程如下：
　　（ 1 ）粗拋 經銑、電火花、磨等工藝后的表面可以選擇轉速在 35 000 —40 000 rpm 的旋轉表面拋光機或超聲波研磨機進行拋光。常用的方法有利用直徑Φ 3mm 、 WA # 400 的輪子去除白色電火花層。然后是手工油石研磨，條狀油石加煤油作為潤滑劑或冷卻劑。一般的使用順序為 #180 ~ #240 ~ #320 ~ #400 ~ #600 ~ #800 ~ #1000 。許多模具制造商為了節約時間而選擇從 #400 開始。

　　（ 2 ）金相顯微鏡半精拋 半精拋主要使用砂紙和煤油。砂紙的號數依次為： #400 ~ #600 ~ #800 ~ #1000 ~ #1200 ~ #1500 。實際上 #1500 砂紙只用適于淬硬的模具鋼（ 52HRC 以上），而不適用于預硬鋼，因為這樣可能會導致預硬鋼件表面燒傷。
　　（ 3 ）精拋 精拋主要使用鉆石研磨膏。若用拋光布輪混合鉆石研磨粉或研磨膏進行研磨的話，則通常的研磨順序是 9 μ m （ #1800 ） ~ 6 μ m （ #3000 ） ~3 μ m （ #8000 ）。 9 μ m 的鉆石研磨膏和拋光布輪可用來去除 #1200 和 #1500 號砂紙留下的發狀磨痕。接著用粘氈和鉆石研磨膏進行拋光，順序為 1 μ m （ #14000 ） ~ 1/2 μ m （ #60000 ） ~1/4 μ m （ #100000 ）。
　　精度要求在 1 μ m 以上（包括 1 μ m ）的拋光工藝在模具加工車間中一個清潔的拋光室內即可進行。若進行更加精密的拋光則必需一個絕對潔凈的空間。灰塵、煙霧，頭皮屑和口水沫都有可能報廢數個小時工作后得到的高精密拋光表面。