數碼型三目晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)：DMM-5000D

一、晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)儀器的主要用途和特點     DMM-5000晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)采用優質的無限遠光學系統，同時配備明暗場通用的長工作距離平場 平場消色差物鏡，多光路的系統設計，可同時支持雙目鏡筒觀察和數碼攝像裝置觀察。DMM-5000倒置金相顯微鏡可廣泛應 用于研究金屬的顯微組織，能在明場、暗場、偏光、微分干涉下進行觀察和攝影，配備專用軟件，更可同步進行測量分析 。可供研究單位、冶金、機械制造工廠以及高等工業院校進行金屬學與熱處理、金屬物理學、煉鋼與鑄造過程等金相試驗 研究之用。DMM-5000高級正置金相顯微鏡，選用優質的光學元件，配有超大視場目鏡、落射照明器、平場無限遠長工作距 離明暗場物鏡，可選用微分干涉（DIC）觀測、獲得高清晰的圖像，使圖像襯度更好。是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片 制造業、電子信息產業、治金工業開發的，作為高級工業金相顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛 用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。    DMM-5000D電腦型晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)是將精銳的光學顯微鏡技術、先進的光電轉換技術、尖端的計 算機成像技術完美地結合在一起而開發研制成功的一項高科技產品。既可人工觀察金相圖像,又可以在計算機顯示器上很方 便地適時觀察金相圖像，并可隨時捕捉記錄金相圖片,從而對金相圖譜進行分析,評級等,還可以保存或打印出高像素金相照 片。

二、晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)儀器的主要技術指標 金相顯微鏡組件及規格 光學系統 無窮遠光學系統 主機 DMM-5000倒置金相顯微鏡主機 目鏡 大視野 WF10X(Φ22mm) WF15X(Φ16mm) WF20X(Φ12mm) 平場分劃 10X/Φ20mm(0.10mm/格值) 物鏡 無限遠長工作距離平場消色差 （明暗場通用） 放大倍數/數值孔徑 有效工作距離 PL5X/0.12 10 PLL10X/0.25 10 PLL20X/0.4 5 PLL50X/0.75 1.3 PL100X/0.9 0.7 目鏡筒 三目鏡 鉸鏈式，傾斜45度，分光比：觀察80% 攝影20%；或觀察100% 攝影100% 濾片組 內置轉盤式（綠色、藍色、黃色、灰色、毛玻璃） 物鏡轉換器 五孔物鏡轉換器 調焦機構 同軸粗微動調焦機構, 調焦范圍15mm 微動格值2μm 行程（從載物臺表面焦點起）：向上1mm，向下7mm 載物臺 臺面尺寸：226mm*178mm 平臺壓片兩只 小平臺：水滴型、小孔、大孔各一 照明系統 落射照明15V50W，鹵素燈，中心、亮度連續可調 機械移動平臺 移動范圍：40mm*40mm 微分干涉 可使用于5X、10X、20X、50X、100X   三、晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)系統的組成 1、金相顯微鏡DMM-5000　　　　　　 　　　   2、數碼適配鏡 3、彩色數碼相機(CCD) 4、計算機（選購）   四、晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)選購部分 1.金相分析軟件   五 、晶圓檢測顯微鏡(微分干涉金相顯微鏡)同類儀器的比較 1、DMM-5000C電腦微分干涉顯微鏡 2、DMM-5000D數碼微分干涉顯微鏡

 更多參數請參考上海蔡康光學儀器廠網站 http://www.shkon.com.cn