大平臺暗場晶元檢測金相顯微鏡DMM-990C
一、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C的特點和用途:
|
DMM-990C大平臺暗場晶元檢測顯微鏡可進行明視場、暗視場、偏光觀察。是針對半導體晶圓檢測、太陽能硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的，廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對太陽能電池硅片、半導體晶圓檢測、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析.大平臺晶元檢測顯微鏡DMM-990C具有圖像清晰、襯度好，造型美觀，操作方便等特點，是材料學、金屬學、礦物學、精密工程學、電子學等研究的理想儀器。適用于學校、科研、工廠等部門使用。
DMM-990C大平臺暗場晶元檢測顯微鏡性能特點
1、配置大視野目鏡和無限遠長距平場消色差物鏡(無蓋玻片)，視場大而清晰。
2、粗微動同軸調焦機構，粗動松緊可調，帶限位鎖緊裝置，微動格值:2μm。
3、6V30W鹵素燈，亮度可調。
4、三目鏡筒,可自由切換正常觀察與偏光觀察，偏振片可360度旋轉.
5、三層大移動范圍的載物臺，移動范圍:8"×8"(204mm×204mm）
6、高像素數字成像系統，電腦顯示成像真實清晰
|
二、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C的技術參數:
|
規格
|
技術參數
|
|
目鏡
|
WF10X超大視野目鏡,視場Φ22mm WF20X/22mm 分劃 10X(Φ22mm),格
值0.1mm/格
|
|
長工作距離無限遠平場消色差物鏡
|
無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL 5X/0.12 WD:26.1mm
|
|
無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PLL10X/0.25 WD:20.2mm
|
|
無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL L20X/0.40 WD:8.8mm
|
|
無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL L50X/0.70 WD:3.68mm
|
|
無限遠平場消色差物鏡（明視場）(無蓋玻片)PL L80X/0.80 WD:1.25mm
|
|
目鏡筒
|
鉸鏈式三目鏡,傾斜30?,內置檢偏振片,可進行切換 ，屈光度±5可調
|
|
落射照明系統
|
6V 30W鹵素燈,亮度可調
|
|
落射照明器帶 (黃,藍,綠)濾色片和磨砂玻璃
視場光欄和孔徑光欄大小可調節，可插入式起偏振片，可進行偏光觀察和攝影
起偏和檢偏均可移出光路,偏光觀察時,偏振片可360度旋轉
|
|
調焦機構
|
粗微動同軸調焦, 微動格值:2μm,帶鎖緊和限位裝置
|
|
轉換器
|
五孔(內向式滾珠內定位)
|
|
載物臺
|
三層機械移動式(尺寸:280mmX270mm,移動范圍:204mmX204mm
|
|
攝像系統
|
1X攝影接口，標準C接口
|
|
300萬數字成像系統，最高分辨率：2048X1536，最新升級數字攝像模塊，采用USB供電，功耗小，連接簡單：USB2.0 圖像質量好 ,色彩還原性好 ,圖像穩定，可進行圖像大小調節,色彩調節,增益調節,曝光設置,自動曝光等調節。
|
|
三、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C的系統組成
1、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡主機 2、電腦適配鏡
3、300萬像素彩色數字攝像器 4、計算機(選購)
四、大平臺暗場晶元檢測顯微鏡DMM-990C可選購部分
1、16X、大視野平場目鏡 2、測微尺
3、數碼成像系統 4、DS-3000二維定倍測量軟件 |
